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장비기본정보

기관명
(재)강원테크노파크 원료산업지원센터
장비명
전계방사형 주사전자현미경 (Field Emission Scanning Elelctron Microscope)
모델명
GeminiSEm 300
제작사(국가)
Carl Zeiss(독일)
제작년도
2018
용도
분석
분류
취득일
2018.10.05
장비설명
"○ 시료의 표면분석(Topography, Morphology, Composition, Crystallography) 및 성분분석(EDS 활용)
○ 광물, 원료, 소재에 대한 시험, 분석, 평가 및 시험성적서발행
○ Schottky Field emission type Gun이 장착
○ In lens type Schottky field emission Gun을 통해 높은 Probe current를 안정적으로 시료에 인가하여 동시에 다량, 다종의 원소에 대한 정성, 정량 분석 작업
○ 200nA 이상의 Probe current 인가가 가능하여 미량의 활성물질을 함유하는 세라믹필터, 금속/탄소섬유 composite 등의 미소 영역에 대한 분석가능
○ 대 구경 Active area(50mm2) SDD Type EDS와 64 bit Processor를 통해 미지의 시료 내 원소에 대한 실시간 정성, 정량 분석이 가능하여 시료의 개재물 및 불순물 분석 결과 파악
○ 광학현미경과 전자현미경 이미지의 상호 좌표공유 및 자동으로 위치 전환 및 시료 내 같은 위치의 광학현미경 이미지와 전자현미경 이미지 오버레이 가능"
장비구성

성능
"○ Resolution: 0.8nm at 15kV, 1.4nm at 1 kV(without stage bias)
○ Acceleration Voltage: 0.02-30 kV
○ Probe Current: 3 pA up to 20 nA
○ Magnification: 12 – 2,000,000 ×
○ Electron Emitter: Thermal field emission type, stability better than 0.2 %/h
○ Detectors included in Base System: Inlens Secondary Electron detector, Everhart Thornley Secondary Electron detector, High efficiency VPSE detector (included in variable pressure option)
○ Specimen stage: 5-axes motorized eucentric specimen stage:
X = 130 mm, Y = 130 mm; Z = 50 mm, T = -3° to 70°, R = 360° (continuous)"
NTIS NO
NFEC-2018-10-246549
E-Tube NO
1809-A-0143

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
70,000원
설치형태
고정
설치장소
(재)강원테크노파크 원료산업지원센터
장비상태
정상
담당자
김덕
연락처
0335813422
팩스
0335813376
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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